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根據(jù)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評價審批程序的有關(guān)規(guī)定,關(guān)于《榮芯半導(dǎo)體(淮安)有限公司榮芯半導(dǎo)體一廠12英 (略) 生產(chǎn)線項(xiàng)目環(huán)境影響報告表》我局?jǐn)M予審批,現(xiàn)將有關(guān)情況公示如下:
建設(shè)單位:榮芯半導(dǎo)體(淮安)有限公司
項(xiàng)目名稱:榮芯半導(dǎo)體(淮安)有限公司榮芯半導(dǎo)體一廠12英 (略) 生產(chǎn)線項(xiàng)目
建設(shè)地點(diǎn): (略) 淮安高新技術(shù)產(chǎn) (略) (略) 599號
基本情況: (略) 淮安高新技術(shù)產(chǎn) (略) (略) 599號,投資*萬元,項(xiàng)目為12英 (略) 芯片加工項(xiàng)目,主要加工類型為線寬28nm~180nm的12英 (略) 生產(chǎn)。
二、環(huán)保措施:
1、項(xiàng)目建設(shè)期應(yīng)按要求做好各項(xiàng)廢水、廢氣、噪聲及固廢的污染防治工作。建設(shè)單位應(yīng)督促施工單位在開工十五日前到環(huán)保部門辦理排污申報手續(xù)。夜間施工須經(jīng)環(huán)保部門批準(zhǔn)后方可施工,盡量減少噪聲對周圍環(huán)境的影響。
2、 (略) 按“雨污分流、清污分流、一水多用”的原則設(shè)計(jì)和 (略) (略) 。建設(shè)項(xiàng)目新增生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)現(xiàn) (略) (略) 理后與經(jīng) (略) 理后的生活污水及經(jīng) (略) 理的食堂廢水匯合后排入 (略) 新 (略) 理廠,尾水排入鹽河。
3、本項(xiàng)目生產(chǎn)車間為全封閉潔凈車間,其中酸 (略) 理系統(tǒng)依托現(xiàn)有10套(8用2備)堿液噴淋洗滌塔+10個(8用2備)35m排氣筒,排氣筒編號為*、12、13、16,新增3套堿液噴淋洗滌塔+3個35m排氣筒,排氣筒編號為*;EPI酸 (略) 理系統(tǒng)依托現(xiàn)有2套(1用1備)堿液噴淋洗滌塔+2個(1用1備)35m排氣筒,排氣筒編號為DA019、20,新增1套堿液噴淋洗滌塔+1個35m排氣筒,排氣筒編號為DA025;堿 (略) 理系統(tǒng)依托現(xiàn)有4套(3用1備)酸液噴淋洗滌塔+4個(3用1備)35m排氣筒,排氣筒編號為*、17,新增1套酸液噴淋洗滌塔+1個35m排氣筒,排氣筒編號為DA026;有 (略) 理系統(tǒng)依托現(xiàn)有3套(2用1備)沸石轉(zhuǎn)輪+TO燃燒裝置+3套(2用1備)35m排氣筒,排氣筒編號為DA014、15、18,新增1套沸石轉(zhuǎn)輪+TO燃燒裝置+1個35m排氣筒,排氣筒編號為DA027;砷烷由接入酸性廢氣設(shè)置的堿液噴淋 (略) 理改 (略) 理(POU)裝 (略) 理后直接經(jīng)過單獨(dú)排氣筒排放,排氣筒編號:DA028;廢水站廢氣依 (略) 理裝置,收集后經(jīng)管道引 (略) 理站屋頂?shù)乃?(略) 理系統(tǒng)(酸噴淋+堿噴淋),通過30m排氣筒排放,排氣筒編號為DA001。危廢倉庫收集廢氣后經(jīng)過一級活性 (略) 理,排氣筒編號為DA029;4臺備用鍋爐(供熱不正常時)使用天然氣為燃料,采用低氮燃燒技術(shù),排氣筒編號為DA021。以上工藝廢氣中氟化物、氯化氫、氯氣、硫酸霧、NH3、TVOC、異*醇、砷化氫、磷化氫、顆粒物、非*烷總烴、NOx(POU燃燒產(chǎn)生的NOx、酸洗硝酸霧合并排放)排放執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》DB32/3747-2020排放濃度限值要求;POU燃燒產(chǎn)生的二噁英,有 (略) 理裝置廢氣NOx、SO2、顆粒物,廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值執(zhí)行江蘇省《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/4041-2021); (略) 理站廢氣氨和硫化氫排放速率及廠界濃度限值執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(*);備用鍋爐污染物排放限值執(zhí)行《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》DB32/4385-2022。
4、選用低噪聲設(shè)備,采用隔聲、消音、減震等措施,確保廠界噪聲達(dá)標(biāo)排放,排放標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(*)3類標(biāo)準(zhǔn)。
5、廢氫氟酸、廢磷酸、廢異*醇、廢硫酸銅溶液、含銅污泥、廢礦物油、廢離子交換樹脂、廢汞燈、廢UPS電池、沾染化學(xué)品手套/廢抹布危險廢物交由有危 (略) 置資質(zhì)的單 (略) 理;一般廢物廢芯片、廢靶材外售綜合利用;有 (略) 理系統(tǒng)污泥、 (略) 處置;廢研磨墊、純水制備樹脂由生產(chǎn)廠商回收;生活垃圾環(huán)衛(wèi)清運(yùn)。建設(shè)單位應(yīng)嚴(yán)格按照一般固廢管理相關(guān)規(guī)定,做好收集、 (略) 置工作。
6、擴(kuò)建后衛(wèi)生防護(hù)距離不變,以化學(xué)品倉庫、污水站為邊界的衛(wèi)生防護(hù)距離為100m,衛(wèi)生防護(hù)范圍內(nèi)不得新建敏感目標(biāo)。
三、本項(xiàng)目污染物總量核定為:顆粒物≤0.072t/a,VOCs≤9.101t/a(有組織≤9.093t/a、無組織≤0.008t/a),SO2≤0.045t/a,NOx≤10.241t/a,氟化物≤4.201t/a,HCl≤10.836t/a,硫酸霧≤3.532t/a,NH3≤6.544t/a(有組織≤6.456t/a無組織≤0.088t/a,磷烷≤0.007t/a;砷烷≤0.*t/a;氯氣≤0.088t/a。
廢水≤*t/a,COD≤84.646t/a/60.864t/a、SS≤109.802t/a/12.173t/a、TN≤22.571t/a/18.259t/a、*≤12.384t/a/6.086t/a、TP≤3.083t/a/0.609t/a。
三、當(dāng)項(xiàng)目的性質(zhì)、規(guī)模、地點(diǎn)、工藝或污染防治措施與報批的內(nèi)容不符或發(fā)生重大變化的,建設(shè)單 (略) 重新報批環(huán)評文件。
四、項(xiàng)目竣工后,建設(shè)單位應(yīng)按規(guī)定組織開展項(xiàng)目竣工環(huán)保設(shè)施“三同時”驗(yàn)收工作,驗(yàn)收合格后,方可正式投入生產(chǎn)。同時,建設(shè)單位應(yīng)按要求申請辦理排污許可證或排污登記,做到規(guī)范排污。
編制單位:南京 (略)
編制主持人:戴明麗
(執(zhí)業(yè)資格證書編號*70)
公示期限:2024年10月25日-2024年10月31日
聽證告知:依據(jù)《中華人民共和國行政許可法》,自公示起5個工作日內(nèi),申請人、利害關(guān)系人可對擬作出建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評價文件批復(fù)決定要求聽證。
聯(lián)系地址: (略) 行政審批服務(wù)中心環(huán)保窗口
聯(lián)系電話:*
報告表全文:*@*63.com(密碼Hbj*)查閱
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